Siltuma plūsmas mērītājs var būt jebkura no ierīču klāsta, kas paredzēta masas ātruma mērīšanai, kad tā iet cauri slēgtai telpai, parasti caurulei. Masai pārvietojoties pa slēgtu telpu, siltuma plūsmas mērītājs nosaka plūsmas ātrumu, mērot siltumu, kas pārnests no sensora virsmas uz plūstošo masu. Šāda veida sensori ir atkarīgi no noteikuma, ka, mainoties ātrumam, mainās arī masas ietekme uz mērījumu sensoriem.
Sensori siltuma plūsmas mērītājā daudzkārt rada siltumu, izmantojot kādu ārēju elektroenerģijas avotu. Kad gāzes molekulas iet garām sensoriem, tās paņem daļu no šī siltuma kopā ar pārējo masu slēgtajā telpā. Elektroenerģija, kas nepieciešama bāzes temperatūras uzturēšanai, atspoguļos masas plūsmu no tieši proporcionālas attiecības. Daudzos gadījumos noderīgs siltuma plūsmas mērītājs varētu būt visnoderīgākais dažādu gāzu plūsmas ātruma mērīšanai ekstrakcijas darbību laikā.
Lai gan siltuma plūsmas mērītājiem ir daudz dažādu konfigurāciju, divas var uzskatīt par vissvarīgākajām un plaši izmantotajām. Viena svarīga konfigurācija ir pazīstama kā iegremdējamais siltuma plūsmas mērītājs. Tas ir tiešā saskarē ar plūstošo masu un var ietvert divus sensorus. Viens sensors mēra masas temperatūru, bet otrs mēģina uzturēt nemainīgu temperatūru. Atšķirība starp diviem sensoriem norāda uz to, ko sauc par termiskās uztveršanas principu, kas ir tieši proporcionāls masas plūsmas ātrumam.
Vēl viena siltuma plūsmas mērītāja konfigurācija ir kapilārās caurules dizains. Šajā konfigurācijā siltuma sensors tiek uzskatīts par iebūvētu, kas nozīmē, ka tas ir tieši savienots ar slēgtu telpu. Pēc tam sensors mēra siltuma daudzumu, kas kopumā konvekēts plūstošajai masai. Gan iegremdējamie, gan kapilāro cauruļu sensori balstās uz siltuma sensora principu, kam ir tik augsta precizitāte, ka to var izmantot daudzās situācijās.
Piemēram, siltuma plūsmas mērītājs var palīdzēt pētniecībā, nodrošinot precīzus plūsmas ātrumus dažādiem gāzes veidiem. Plūsmas mērītāji ir arī potenciāli noderīgi rūpnieciskos un komerciālos lietojumos, piemēram, gāzes uzglabāšanas un sadales darbībās. Plūsmas ātrums ir svarīga daļa no daudzām darbībām, kas saistītas ar inertas vai degošas gāzes ražošanu, sadali un izmantošanu. Siltuma plūsmas mērītājs var sniegt arī vērtīgus datus civilām darbībām, piemēram, notekūdeņu aerācijai vai dabasgāzes sadalei.