Gāzes plūsmas sensori, ko bieži dēvē arī par masas plūsmas mērītājiem, darbojas, aprēķinot kustīgās gāzes daudzumu caurulē vai slēgtā telpā, vienlaikus ņemot vērā temperatūras un spiediena mainīgos lielumus. Gāzes plūsmas sensoriem tiek izmantotas dažādas metodes, lai iegūtu precīzus rādījumus. Tie ietver mērījumus, izmantojot skaņas viļņus, ko izstaro un savāc ultraskaņas devēji, un gāzes plūsmas mērītājus, kas mēra faktisko kopējo masu, kas šķērso noteiktu punktu.
Plūsmas mērītājiem ir dažādas konstrukcijas un mērīšanas iespējas. Koriolis plūsmas mērītājs izmanto Coriolis efektu ar kustīgiem ķermeņiem, mērot šķidruma masu, pamatojoties uz vibrācijām, ko tas rada caurulēs, kad tas iet garām, analizējot vibrāciju radītos viļņu modeļus. Tāpat kā ultraskaņas plūsmas mērīšana, Doplera plūsmas mērītāji arī analizē skaņas viļņus, pamatojoties uz Doplera efektu, lai aprēķinātu masu, mainoties skaņas viļņu frekvencei un amplitūdai, masai plūstot uz Doplera gāzes plūsmas sensoriem un prom no tiem. Mainīgas plūsmas mērītājus bieži izmanto arī kā gāzes plūsmas sensorus, kam caurulē ir nepieciešama vienkārša pludiņa ierīce, ko pārvieto gāzes tilpuma spēks, kad tā iet garām.
Turpretim šķidruma plūsmas sensori parasti var būt vienkāršākas konstrukcijas, jo temperatūras un spiediena svārstības šķidruma plūsmu ietekmē pakāpeniskāk nekā gāzes. Tā kā gāzes plūsmas sensori galvenokārt ir būvēti, lai mērītu gāzes tilpumu, nevis siltuma kvalitāti, piemēram, dabasgāzei, ko izmanto māju apsildīšanai un ēdiena gatavošanai, aprēķiniem, kas balstīti uz gāzes faktisko ekonomisko vērtību, ir jāatšķiras arī tās sastāva dēļ. Gāzes tilpumā esošie elementi var ievērojami atšķirties pat tad, ja pats tilpums nemainās. Tāpēc komunālie pakalpojumu sniedzēji gāzes plūsmā iekļauj spiediena kontroli un regulāri veic gāzes hromatogrāfa spektra analīzi, lai noteiktu gāzes plūsmas faktisko ķīmisko sastāvu.
Papildus skaņas viļņu mērīšanas gāzes plūsmas sensoriem citas ierīces izmanto caurulē esošās diafragmas, kas reaģē uz spiedienu un rada impulsus, kas tiek ievadīti plūsmas datorā tilpuma aprēķiniem. Rotācijas un turbīnas gāzes plūsmas sensori izmanto rotējošā lāpstiņriteņa un turbīnas lāpstiņu mehānisko kustību, lai noteiktu tilpuma plūsmu. Atveres mērītāja gāzes plūsmas sensori izmanto šaurāku caurules apgabalu, lai izveidotu spiediena starpību, ko salīdzina ar spiedienu standarta caurules diametrā. Lai gan atveres gāzes plūsmas sensori tiek uzskatīti par mazāk precīziem nekā citi sensori, tos plaši izmanto rūpniecībā, jo tiem nav kustīgu daļu, kas varētu sabojāties.