“Nanoapstrāde” attiecas uz tādu konstrukciju izgatavošanu, kuru elementu izmēri ir mērīti nanometros, īpaši mazāki par 20 nanometriem vienā pusē. Pašreizējās tehnoloģijas lielākoties pieļauj nanoražošanu tikai divdimensiju nozīmē. Galvenā pašreizējās nanoražošanas apakškopa ir tehnoloģijas, kas ietilpst nanolitogrāfijas kompetencē, kas būtībā nozīmē tikai “nanomēroga rakstīšanu” un nozīmē 2-dimensiju rezultātu. Šajā ziņā pat parastā fotolitogrāfija, ko izmanto datoru mikroshēmu izgatavošanai, tehniski ir nanoražošana, jo elementu izmēri tiek mērīti simtos nanometru. Tomēr “nanoapstrāde” parasti attiecas uz jaunākām un progresīvākām pieejām.
Parasto fotolitogrāfiju, kas ir skaitļošanas nozares pamats, var izmantot, lai izveidotu objektus, kuru izmēri ir pat 22 nm, lai gan tas ir ļoti dārgi un pašlaik netiek uzskatīts par rentablu. Parasti modeļiem ir aptuveni 193 nm kā apakšējā robeža. Gaidot, ka fotolitogrāfija saskarsies ar fiziskajām robežām, datoru uzņēmumi ir ieguldījuši miljardus dolāru nākamās paaudzes litogrāfijas metožu izpētē. Tie ietver rentgenstaru litogrāfiju (funkciju izmēri 15 nm), dubulto modelēšanu (izmantojot zemākas izšķirtspējas pieeju, bet vienu un to pašu virsmu veido divas reizes), elektronu staru tiešās rakstīšanas litogrāfiju (EBDW), ekstrēmo ultravioleto litogrāfiju, nanoimprintu litogrāfiju, skenēšanu. zondes litogrāfija (kas var manipulēt ar atsevišķiem atomiem) un atomu spēka mikroskopa nanolitogrāfija.
Progresīvākas nanofabrikcijas pieejas ir molekulārā pašsavienošanās, kas laboratorijā ir pierādīta simtiem reižu, vai pozicionālā mehānosintēze, kas ir agrīnākajā pētniecības stadijā. Abi ir mēģinājumi ieviest nanoražošanu 3D jomā, kas patiesi atbrīvotu tās tehnoloģisko jaudu. Ātra nanoapstrāde 3D formātā nozīmētu, ka ražotāji teorētiski varētu izveidot plašu ķīmiski iespējamu struktūru klāstu ar nanometru precizitāti. Tas varētu novest pie dzinēju daudzuma jaudīgākiem nekā šodien, materiāliem ar 100 reižu labāku stiprības un svara attiecību, visās iestrādātās elektronikas un daudz ko citu. Tomēr pagaidām nanofabricēšana galvenokārt tiek izmantota tikai labāku datoru mikroshēmu izgatavošanai.