Kas ir Magnetron Sputtering?
Īsā atbilde
Magnetronu izsmidzināšana ir fiziskas tvaiku pārklāšanas veids, process, kurā mērķa materiāls tiek iztvaicēts un uzklāts uz substrāta, lai izveidotu plānu plēvi. Tā kā tas izmanto magnētus, lai stabilizētu lādiņus, magnetronu izsmidzināšanu var veikt ar zemāku spiedienu. Turklāt šis izsmidzināšanas process var izveidot precīzas un vienmērīgi sadalītas plānas plēves, un tas ļauj iegūt lielāku dažādību mērķa materiālā. Magnetronu izsmidzināšanu bieži izmanto, lai veidotu plānas metāla plēves uz dažādiem materiāliem, piemēram, plastmasas maisiņiem, kompaktdiskiem (CD) un digitālajiem video diskiem (DVD), un to plaši izmanto arī pusvadītāju rūpniecībā.
Parasti tradicionālais izsmidzināšanas process sākas vakuuma kamerā ar mērķa materiālu. Argonu vai citu inertu gāzi lēnām ievada, ļaujot kamerā uzturēt zemu spiedienu. Pēc tam caur iekārtas strāvas avotu tiek ievadīta strāva, ienesot kamerā elektronus, kas sāk bombardēt argona atomus un izsist elektronus to ārējos elektronu apvalkos. Rezultātā argona atomi veido pozitīvi lādētus katjonus, kas sāk bombardēt mērķa materiālu, izdalot nelielas tā molekulas aerosolā, kas sakrājas uz substrāta.
Lai gan šī metode parasti ir efektīva plānu kārtiņu izveidošanai, brīvie elektroni kamerā ne tikai bombardē argona atomus, bet arī mērķa materiāla virsmu. Tas var izraisīt lielu mērķa materiāla bojājumu, tostarp nevienmērīgu virsmas struktūru un pārkaršanu. Turklāt tradicionālās diodes izsmidzināšanas pabeigšana var aizņemt ilgu laiku, paverot vēl lielākas iespējas elektronu bojājumiem mērķa materiālam.
Magnetronu izsmidzināšana nodrošina lielāku jonizācijas ātrumu un mazāku elektronu bojājumu mērķa materiālam nekā tradicionālās izsmidzināšanas metodes. Šajā procesā aiz strāvas avota tiek ievadīts magnēts, lai stabilizētu brīvos elektronus, aizsargātu mērķa materiālu no elektronu kontakta un arī palielinātu iespējamību, ka elektroni jonizēs argona atomus. Magnēts rada lauku, kas notur elektronus ierobežotus un iesprostotus virs mērķa materiāla, kur tie nevar tam kaitēt. Tā kā magnētiskā lauka līnijas ir izliektas, elektronu ceļš kamerā tiek pagarināts caur argona plūsmu, uzlabojot jonizācijas ātrumu un samazinot laiku, līdz tiek pabeigta plānā kārtiņa. Tādā veidā magnetronu izsmidzināšana spēj novērst sākotnējās laika un mērķa materiāla bojājumu problēmas, kas radušās ar tradicionālo diožu izsmidzināšanu.
Saistītie jautājumi
- Kas ir RF Magnetron Sputtering?Radiofrekvences magnetronu izsmidzināšana, ko sauc arī par RF magnetronu izsmidzināšanu, ir process, ko izmanto plānas …
- Kas ir izsmidzināšanas sistēma?Izsmidzināšana ir plānslāņa uzklāšanas process, kurā uz substrāta virsmas tiek izmests ciets mērķa materiāls, veidojot …
- Kas ir līdzstrāvas magnetrona izsmidzināšana?Līdzstrāvas magnetrona izsmidzināšana ir viens no vairākiem izsmidzināšanas veidiem, kas ir viena materiāla plānu kārti…
- Kas ir izsmidzināšanas mērķis?Izsmidzināšanas mērķis ir materiāls, ko izmanto, lai izveidotu plānas kārtiņas tādā tehnikā, kas pazīstama kā izsmidzin…
- Kas ir RF izsmidzināšana?Radiofrekvences (RF) izsmidzināšana ir paņēmiens, ko izmanto, lai izveidotu plānas plēves, piemēram, datoru un pusvadīt…
- Kas ir elektronu reizinātājs?Elektronu reizinātājs ir ierīce, kas palielina elektronu plūsmas elektronu emisijas ātrumu. Tas bombardē izstarojošu ma…
- Kas ir izsmidzināšanas mašīna?Izsmidzināšanas iekārta parasti ir maza, noslēgta kamera, kurā enerģētiskās daļiņas, piemēram, elektroni, bombardē izej…
- Kas ir patiesā un patiesā vērtība?Patiesā un patiesā vērtība grāmatvedības vajadzībām ir vērtība, ko persona, kura sagatavojusi paziņojumu, uzskata par p…
- Kas ir iebūvēta virtuve?Iebūvētā virtuvē virtuves plānojumā ir iekļautas visas iebūvētās mēbeles, iebūvētie skapji un sadzīves tehnika. Bieži v…
- Kas ir izsmidzināšanas kamera?ICP-MS spektrometrijas procesā tiek izmantota izsmidzināšanas kamera. Smidzināšanas kameras tiek izmantotas noteiktā pr…