Kas ir plānslāņa iztvaicētājs?

Ir divi galvenie iztvaikošanas veidi, kurus var izmantot, lai izveidotu plānu plēvi. Tie ir rezistīvā iztvaikošana un elektronu staru iztvaikošana. Abos šajos paņēmienos mērķa materiāls tiek karsēts plānās kārtiņas iztvaicētājā, līdz tas iztvaiko vai sublimējas. Kā gāze mērķa materiāls pārvietojas caur vakuuma kameru, līdz tas nokrīt uz substrāta un veido plānu plēvi. Abām šīm metodēm ir nepieciešams, lai mērķa materiāli būtu tikpat stabili kā gāze.

Pretestības iztvaikošanas gadījumā elektriskā strāva tiek izlaista caur mērķa materiālu, kas kļūst karsts, kad tas tiek iedarbināts. Ar pietiekami daudz siltuma mērķa materiāls iztvaiko vai sublimējas. Zelts un alumīnijs ir izplatīti mērķa materiāli, kurus var iztvaikot metāla stiepļu veidā, ko sauc par pavedieniem. Mērķa materiālus pavedienu veidā ir grūti ievietot iztvaicētājā, un tos var apstrādāt tikai nelielos daudzumos. Plānas kārtiņas iztvaicētājā var izmantot arī plānas mērķa materiāla loksnes, ar kurām bieži vien ir vieglāk strādāt un iztvaicējot, tās iegūst vairāk vielas.

Daži mērķa materiāli nav piemēroti rezistentai iztvaikošanai, jo procesa laikā tie var izdalīt lielas cietās vielas daļas. Ja šīs cietās vielas saduras ar plāno kārtiņu, kas veidojas uz pamatnes, tās var to sabojāt. Lai iztvaicētu šos materiālus, ir jāizmanto slēgts apkures avots, kas ļauj materiāla gāzveida formai izkļūt caur maziem caurumiem, vienlaikus notverot cietās vielas daļas sildīšanas kamerā.

Elektronu staru iztvaikošana uzsilda mērķa materiālu, novirzot uz to augstas enerģijas elektronu staru. Šāda veida plānās plēves iztvaicētājā mērķa materiāls tiek turēts atdzesētā pavardā, kamēr tas tiek bombardēts ar elektroniem un karsēts. Šis process ir noderīgs mērķa materiāliem ar ļoti augstu iztvaikošanas temperatūru, jo fokusētais enerģijas stars var sildīt mērķa materiālu, nesildot visu iekārtu. Tvertne, kurā atrodas mērķa materiāls, nav pakļauta lielam karstumam, tāpēc procesa laikā tas neizkūst un neiztvaiko. Šāda veida plānās kārtiņas iztvaicēšanai ir nepieciešams īpašs aprīkojums, un tas var būt diezgan dārgs.