Plazmas izsmidzināšana ir paņēmiens, ko izmanto dažādu vielu plānu kārtiņu izveidošanai. Plazmas izsmidzināšanas procesā mērķa materiāls gāzes veidā tiek izlaists vakuuma kamerā un pakļauts augstas intensitātes magnētiskajam laukam. Šis lauks jonizē atomus, piešķirot tiem negatīvu elektrisko lādiņu. Kad daļiņas ir jonizētas, tās nokrīt uz substrāta materiāla un sarindojas, veidojot pietiekami plānu plēvi, lai tās biezums būtu no dažiem līdz dažiem simtiem daļiņu. Šīs plānās plēves tiek izmantotas vairākās dažādās nozarēs, tostarp optikā, elektronikā un saules enerģijas tehnoloģijās.
Plazmas izsmidzināšanas procesā substrāta loksne tiek ievietota vakuuma kamerā. Šo substrātu var izgatavot no dažādiem materiāliem, tostarp metāla, akrila, stikla vai plastmasas. Pamatnes veids tiek izvēlēts, pamatojoties uz paredzēto plānās kārtiņas pielietojumu.
Plazmas izsmidzināšana jāveic vakuuma kamerā. Gaisa klātbūtne plazmas izsmidzināšanas procesā neļautu uz substrāta uzklāt tikai viena veida daļiņu plēvi, jo gaiss satur daudz dažādu daļiņu veidu, tostarp slāpekli, skābekli un oglekli. Pēc substrāta ievietošanas kamerā gaiss tiek nepārtraukti izsūknēts. Kad gaiss kamerā ir pazudis, mērķa materiāls tiek izlaists kamerā gāzes veidā.
Tikai daļiņas, kas ir stabilas gāzveida formā, var pārvērst plānā plēvē, izmantojot plazmas izsmidzināšanu. Izmantojot šo procesu, parasti tiek veidotas plānas plēves, kas sastāv no viena metāla elementa, piemēram, alumīnija, sudraba, hroma, zelta, platīna vai to sakausējuma. Lai gan ir daudz citu plānu kārtiņu veidu, plazmas izsmidzināšanas process ir vislabāk piemērots šāda veida daļiņām. Kad daļiņas nonāk vakuuma kamerā, tās ir jājonizē, pirms tās nogulsnējas uz substrāta materiāla.
Spēcīgi magnēti tiek izmantoti, lai jonizētu mērķa materiālu, pārvēršot to plazmā. Kad mērķa materiāla daļiņas tuvojas magnētiskajam laukam, tās uzņem papildu elektronus, kas tiem piešķir negatīvu lādiņu. Mērķa materiāls plazmas veidā nokrīt uz substrāta. Pārvietojot substrāta loksni, iekārta var uztvert plazmas daļiņas un likt tām sakārtoties. Plāno kārtiņu veidošanās var ilgt dažas dienas atkarībā no vēlamā plēves biezuma un mērķa materiāla veida.