Augera elektronu spektroskopiju (AES) bieži izmanto, lai noteiktu virsmas plānas, mikroskopiskas kārtas ķīmisko sastāvu. Daļiņas, ko sauc par elektroniem, parasti ir vērstas pret materiālu, izraisot Augera efektu, kurā no atoma iekšējā apvalka tiek noņemts elektrons, tā vietu ieņem augstāka līmeņa daļiņa un tiek emitēts cits elektrons. Testēšanu veic īpaši augstā vakuumā, un to parasti veic ar elektronu pistoli, analizatoru, detektoru un datu ierakstītāju. Informācija parasti tiek analizēta grafiski; pīķu raksturs parasti palīdz noteikt, kādi savienojumi ir paraugā.
Bieži tiek izmantoti elektronu stari, lai gan dažreiz tiek atbrīvoti rentgena stari. Pārbaudāmā materiāla veids nosaka, kurš tiek izmantots; oksīdi, piemēram, var noārdīties, ja tiek pakļauti augsta līmeņa elektronu iedarbībai. Vielas var identificēt, jo Augera elektrona enerģija parasti ir unikāla elementam. Augera elektronu spektroskopijā izplūstošās daļiņas parasti nav tik enerģiskas kā citas. Parasti tām ir jāatrodas ļoti tuvu virsmai, lai tās varētu izkļūt, un visas AES laikā esošās gāzes var novērst daļiņu nokļūšanu līdz detektoram.
Augera elektronu spektroskopijā izmantotais elektronu lielgabals parasti sastāv no daļiņu avota un lēcas, kas fokusē staru kūli. Lēca var būt elektrostatiska vai elektromagnētiska; kurš tiek izmantots, ir atkarīgs no vajadzīgās izšķirtspējas. Elektronu enerģijas analizators, kas ir daļa no Auger elektronu spektroskopijas tehnikas, var sakārtot emitētās daļiņas pēc to enerģijas līmeņa. Analizatoru var konstruēt kā cilindrisku spoguli vai divus puslodes formas koncentriskus apvalkus.
Augera elektronu spektroskopijai bieži izmanto viena vai daudzu kanālu detektorus. Pēc tam dati tiek analizēti, izmantojot pīķu kopas diagrammā. Skenēšana parasti aizņem dažas minūtes, savukārt augstas izšķirtspējas mērījumi var ilgt līdz 25 minūtēm. Aptaujas skenēšana parasti nosaka, kādi elementi atrodas, savukārt cita skenēšana var noteikt, cik koncentrēti ir noteikti atomi. Ja staru kūli skenē pāri paraugam, var izveidot izmērītās virsmas karti.
Augera elektronu spektroskopijas zinātne bieži tiek izmantota daudzos fizikas un ķīmijas lietojumos. Papildus elementu identificēšanai uz virsmām, to var izmantot arī oksidācijas un korozijas noteikšanai. Temperatūras reakciju un ar to saistīto nogurumu var analizēt, izmantojot AES. Šo paņēmienu var izmantot arī, lai pārbaudītu, vai integrālajās shēmās nav piesārņotāju, taču procesa ierobežojums ir tāds, ka pārbaudītā materiāla virsma bieži tiek bojāta.