Reaktīvā jonu kodināšana ir tehnoloģijas veids, ko izmanto mikrofabrikā, lai noņemtu vielas no plāksnēm. Vafeles ir mazas pusvadītāju sloksnes, ko izmanto mikroierīču izveidē, un reaktīvo jonu kodināšanas tehnoloģija nodrošina, ka tajās nav materiālu, kas varētu negatīvi ietekmēt to efektivitāti. Mikroapstrādes procedūras tiek veiktas ar īpaši izstrādātām ierīcēm, kas precīzi nosaka noņemamo vielu, nezaudējot vafeles integritāti.
Visizplatītākā reaktīvā jonu kodināšanas iekārta ir izgatavota no cilindra formas vakuuma nodalījuma ar izolētu vafeles turētāju, kas piestiprināts kameras apakšējā daļā. Kuģa augšpusē ir nelieli caurumi, kas ielaiž gāzi. Tiek izmantotas dažāda veida gāzes atkarībā no konkrētās vafeles individuālajām prasībām.
Induktīvi savienota plazma ir vēl viens šīs tehnoloģijas veids. Izmantojot šo ierīci, plazmu veido ļoti specializēts magnētiskais lauks. Nereti ar šo metodi tiek sasniegts augsts plazmas koncentrācijas līmenis.
Reaktīvo jonu kodināšanas plazma ir vielas stāvoklis, kas ir ķīmiski reaktīvs un ko rada standarta radiofrekvences (RF) elektromagnētiskais lauks. Joniem plazmā ir neparasti liels enerģijas daudzums. Šie joni reaģē uz atkritumiem uz vafeles un strādā, lai novērstu defektus uz tās virsmas.
Ķīmiskais process, kas saistīts ar reaktīvo jonu kodināšanu, ir daudzšķautņains. Pirmkārt, uz vafeļu kameru tiek nosūtīts ievērojams elektromagnētiskais lauks. Pēc tam lauks svārstās, kas jonizē gāzes molekulas traukā un noņem to elektronus. Tā rezultātā veidojas plazma.
Reaktīvā jonu kodināšana ir viens no plašākas mikrofabrikas noņemšanas kategorijas veidiem, ko sauc par sauso kodināšanu. Tā noņemšanas procesā neizmanto šķidrumus, atšķirībā no mitrās kodināšanas, kurā tiek izmantotas dažādas skābes un ķīmiskas vielas, lai sasniegtu to pašu rezultātu. Tā kā mitrā kodināšana izraisa vafeles samazinājumu, kā arī ievērojamu daudzumu toksisku atkritumu, sausā kodināšana kļūst par populārāku metodi vafeļu ķīmiskai noņemšanai.
Viens no galvenajiem reaktīvo jonu kodināšanas trūkumiem ir izmaksas. Salīdzinot ar mitrās kodināšanas paņēmieniem, tas ir daudz dārgāks, jo ir nepieciešams specializēts aprīkojums. Tomēr sausās kodināšanas procesi kopumā ir daudz efektīvāki, lai sasniegtu sarežģītākus vafeles apgabalus. Tomēr ir svarīgi atcerēties, ka dažiem darbiem nav vajadzīgas sīkas detaļas, ko nodrošina šis kodināšanas veids, un mitrās kodināšanas procedūras var paveikt uzdevumu tikpat efektīvi.