Kas ir reaktīvā jonu kodināšana?
Īsā atbilde
Reaktīvā jonu kodināšana ir tehnoloģijas veids, ko izmanto mikrofabrikā, lai noņemtu vielas no plāksnēm. Vafeles ir mazas pusvadītāju sloksnes, ko izmanto mikroierīču izveidē, un reaktīvo jonu kodināšanas tehnoloģija nodrošina, ka tajās nav materiālu, kas varētu negatīvi ietekmēt to efektivitāti. Mikroapstrādes procedūras tiek veiktas ar īpaši izstrādātām ierīcēm, kas precīzi nosaka noņemamo vielu, nezaudējot vafeles integritāti.
Visizplatītākā reaktīvā jonu kodināšanas iekārta ir izgatavota no cilindra formas vakuuma nodalījuma ar izolētu vafeles turētāju, kas piestiprināts kameras apakšējā daļā. Kuģa augšpusē ir nelieli caurumi, kas ielaiž gāzi. Tiek izmantotas dažāda veida gāzes atkarībā no konkrētās vafeles individuālajām prasībām.
Induktīvi savienota plazma ir vēl viens šīs tehnoloģijas veids. Izmantojot šo ierīci, plazmu veido ļoti specializēts magnētiskais lauks. Nereti ar šo metodi tiek sasniegts augsts plazmas koncentrācijas līmenis.
Reaktīvo jonu kodināšanas plazma ir vielas stāvoklis, kas ir ķīmiski reaktīvs un ko rada standarta radiofrekvences (RF) elektromagnētiskais lauks. Joniem plazmā ir neparasti liels enerģijas daudzums. Šie joni reaģē uz atkritumiem uz vafeles un strādā, lai novērstu defektus uz tās virsmas.
Ķīmiskais process, kas saistīts ar reaktīvo jonu kodināšanu, ir daudzšķautņains. Pirmkārt, uz vafeļu kameru tiek nosūtīts ievērojams elektromagnētiskais lauks. Pēc tam lauks svārstās, kas jonizē gāzes molekulas traukā un noņem to elektronus. Tā rezultātā veidojas plazma.
Reaktīvā jonu kodināšana ir viens no plašākas mikrofabrikas noņemšanas kategorijas veidiem, ko sauc par sauso kodināšanu. Tā noņemšanas procesā neizmanto šķidrumus, atšķirībā no mitrās kodināšanas, kurā tiek izmantotas dažādas skābes un ķīmiskas vielas, lai sasniegtu to pašu rezultātu. Tā kā mitrā kodināšana izraisa vafeles samazinājumu, kā arī ievērojamu daudzumu toksisku atkritumu, sausā kodināšana kļūst par populārāku metodi vafeļu ķīmiskai noņemšanai.
Viens no galvenajiem reaktīvo jonu kodināšanas trūkumiem ir izmaksas. Salīdzinot ar mitrās kodināšanas paņēmieniem, tas ir daudz dārgāks, jo ir nepieciešams specializēts aprīkojums. Tomēr sausās kodināšanas procesi kopumā ir daudz efektīvāki, lai sasniegtu sarežģītākus vafeles apgabalus. Tomēr ir svarīgi atcerēties, ka dažiem darbiem nav vajadzīgas sīkas detaļas, ko nodrošina šis kodināšanas veids, un mitrās kodināšanas procedūras var paveikt uzdevumu tikpat efektīvi.
Saistītie jautājumi
- Kas ir sausā kodināšana?Sausā kodināšana ir viens no diviem galvenajiem kodināšanas procesiem, ko izmanto mikroelektronikā un dažos pusvadītāju…
- Kas ir laima kodināšana?Kodināšanas kaļķi ir sastāvdaļa, ko izmanto kodināšanas procesā, lai saglabātu dārzeņus, piemēram, gurķus. Pārtikas kaļ…
- Kas ir kodināšanas trafareti?Kodināšanas trafareti tiek izmantoti kā ceļvedis stikla un metāla izstrādājumu pielāgošanai. Trafareti individuālai lie…
- Kas ir jonu matu taisnotājs?Jonu matu taisnotājs ir elektroierīce, kas paredzēta matu iztaisnošanai un gludināšanai, vienlaikus uzlabojot to izturī…
- Kas ir jonu savienojumi?Jonu savienojumi ir ķīmiski savienojumi, kurus saista atsevišķi uzlādētu jonu atomu elektriskie lādiņi. Parasti jonu sa…
- Kas ir metāla kodināšana?Kodināšana no vācu vārda, kas nozīmē “ēst”, ir materiāla virsmas griešana, izmantojot skābi. Kodināšana tiek veikta uz …
- Kas ir C60?C60 ir dabiski sastopama oglekļa molekula. Tā ir daļa no oglekļa molekulu grupas, kas pazīstama kā fullerēni, viena no …
- Kas ir kartes melnraksts?Kartes melnraksts ir paziņojums, ko nosūta ASV valdība, lai paziņotu militārajam iesauktajam, ka viņam ir jāierodas die…
- Kas ir pielāgota kodināšana?Pielāgota kodināšana ir pakalpojums, kurā kodināšana tiek veikta pēc klienta specifikācijām pēc komisijas maksas. Šāda …
- Kas ir skābes kodināšana?Skābes kodināšana ir process, kurā tiek izmantota spēcīga skābe, lai to sagrieztu citā vielā. To izmanto gan rūpniecisk…