Kas ir sausā kodināšana?

Ražotāji bieži izlemj, vai izmantot sausās vai slapjās kodināšanas metodes, vispirms pamatojoties uz iegravēto kanālu precizitāti. Ja kanāliem jābūt īpaši dziļiem vai īpašas formas, piemēram, ar vertikālām malām, ir vēlama sausā kodināšana. Tomēr ir jāņem vērā arī izmaksas, jo sausā kodināšana maksā ievērojami vairāk nekā mitrā kodināšana.

Gan mitrajā, gan sausajā kodināšanā materiāla laukums, kuru ražotājs nevēlas iegravēt (mikroelektroniskajā apstrādē parasti tiek saukts par vafeli), ir pārklāts ar nereaģējošu vielu vai maskēts. Pēc maskēšanas materiāls tiek vai nu pakļauts plazmas kodināšanai, kas to pakļauj gāzveida ķīmiskai vielai, piemēram, fluorūdeņradim, vai arī tiek pakļauts fizikāliem procesiem, piemēram, jonu staru frēzēšanai, kas rada kodināšanu, neizmantojot gāzi.

Ir trīs plazmas kodināšanas veidi. Pirmais, reakcijas jonu kodināšana (RIE), rada kanālus, izmantojot ķīmisku reakciju, kas notiek starp joniem plazmā un vafeles virsmu, kas noņem nelielu daudzumu vafeles. RIE ļauj mainīt kanālu struktūru no gandrīz taisnas līdz pilnīgi noapaļotam. Otrais plazmas kodināšanas process, tvaika fāze, atšķiras no RIE tikai ar vienkāršu uzstādīšanu. Tomēr tvaika fāze pieļauj mazākas izmaiņas ražoto kanālu veidā.

Trešajā paņēmienā, izsmidzināšanas kodināšanā, vafeļu kodināšanai izmanto arī jonus. Joni RIE un tvaika fāzē atrodas uz vafeles virsmas un reaģē ar materiālu. Turpretim izsmidzināšanas kodināšana bombardē materiālu ar joniem, lai izgrieztu norādītos kanālus.

Ražotājiem vienmēr ātri jānoņem blakusprodukti, kas rodas kodināšanas procesā. Šie blakusprodukti var novērst pilnīgu kodināšanu, ja tie kondensējas uz vafeles virsmas. Bieži vien tie tiek noņemti, atgriežot tos gāzveida stāvoklī, pirms kodināšanas process ir pabeigts.

Viens no sausās kodināšanas atribūtiem ir spēja ķīmiskajai reakcijai notikt tikai vienā virzienā. Šī parādība, ko sauc par anizotropiju, ļauj iegravēt kanālus, reakcijai nepieskaroties vafeles maskētajām vietām. Parasti tas nozīmē, ka reakcija notiek vertikālā virzienā.